采用双面玻璃钝化工艺制造的双向可控硅A Triac Fabricated by Glass-passivation on Its Both Front and Back Surface
裴军胜,苟建辉
摘要(Abstract):
介绍一种特别的双向可控硅芯片的结构,该结构在芯片正面和背面均采用台面玻璃钝化工艺保护PN结终端以获得可靠的正反向阻断特性。描述了芯片的内部结构和制造工艺流程,并对封装过程中存在的主要问题和解决办法进行了分析和讨论。
关键词(KeyWords): 结构;玻璃钝化;PN结;封装
基金项目(Foundation):
作者(Author): 裴军胜,苟建辉