现代电子技术

2018, v.41;No.525(22) 68-71

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扫描电子显微镜图像的特征提取方法研究
Research on feature extraction method of SEM images

刘科,钟志成

摘要(Abstract):

对扫描电子显微镜图像特征进行提取在提高显微镜图像利用率方面具有重要意义。传统提取方法主要通过模板匹配与遗传算法对特征进行提取,存在提取精度低、耗时长的问题。因此,提出基于阈值筛选的扫描电子显微镜图像的特征提取方法。先对影响扫描电子显微镜图像采集的扫描电路和采集部件进行分析,确定采集图像的准确性;根据特征向量相似性预提取图像特征,通过阈值筛选确定特征点位置实现对扫描电子显微镜图像特征的提取;以提取准确度和耗时为指标进行实验验证。实验结果表明,采用改进方法相比传统方法提取准确度提高了32.3%,耗时缩短了69.1 s。

关键词(KeyWords): 扫描电子显微镜;图像采集;遗传算法;特征提取;阈值筛选;实验验证

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金(11326145);; 湖北省教育厅科学技术研究计划指导性项目(B2015267)~~

作者(Author): 刘科,钟志成

DOI: 10.16652/j.issn.1004-373x.2018.22.017

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