基于小波变换的IC缺陷轮廓曲线分形维估计The Estimation of Fractal Dimension of IC Defect Outline Based on Wavelet Transform
孙晓丽,宋国乡
摘要(Abstract)：
硅片表面缺陷轮廓的形状特征对集成电路(IC)成品率预报及故障分析有重要影响。讨论了IC缺陷轮廓所具有的分形特征,利用小波变换对其参数曲线的分形维数进行了估计,估计结果与实际特征相符,从而为缺陷轮廓特征的描述和计算机模拟提供了一条新的途径。
关键词(KeyWords)： IC缺陷轮廓;小波变换;分形维;集成电路
基金项目(Foundation): 国家863计划VLSI重大专项(2003AA121630)
作者(Author): 孙晓丽,宋国乡
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